在包含某種元素的樣品中，照射一次X射線，就會產(chǎn)生元素1的熒光X射線，不過這個時候的熒光X射線的強(qiáng)度會隨著樣品中元素A的含量的變化而改變。元素1的含量多，X射線熒光光譜儀的強(qiáng)度就會變強(qiáng)。注意到這一點(diǎn)，如果預(yù)先知道已知濃度樣品的X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度，就可以推算出樣品中元素A的含量。

利用 X熒光光譜儀X射線 進(jìn)行定量分析的時候，大致分為3個方法。一個是制作測量線的方法（經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法）。這個方法是測定幾點(diǎn)實(shí)際的已知濃度樣品，尋求想測定元素的 X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度和濃度之間的關(guān)系，以其結(jié)果為基礎(chǔ)測定未知樣品取得X熒光光譜儀X射線 ，從而得到濃度值。

手持式X熒光光譜儀

另一個方法是理論演算的基礎(chǔ)參數(shù)法（FP法）。這個方法在完全了解樣品的構(gòu)成和元素種類前提，利用計(jì)算的各個X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度的理論值，推測測定得到未知樣品各個元素的X熒光光譜儀X射線強(qiáng)度的組成一致。

NBS-GSC法也稱作理論Alpha系數(shù)法。它是基于X熒光光譜儀X射線激發(fā)的基本原理，從理論上使用基本物理參數(shù)計(jì)算出樣品中每個元素的一次和二次特征X射線熒光強(qiáng)度的。基于此再計(jì)算Lachance綜合校正系數(shù)，然后使用這些理論α系數(shù)去校正元素間的吸收增強(qiáng)效應(yīng)。

它與經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法不同，這些校正系數(shù)是從“理論”上取得的，而非建立在“經(jīng)驗(yàn)”上。因而它也不需要那么多的標(biāo)樣，只要少數(shù)標(biāo)樣來校準(zhǔn)儀器因子。