X射線熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散為主。
1． 能量色散熒光光譜儀
能量色散型儀器大的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）。
進口或國產的各種能量色散熒光光譜儀技術水平雖有差別，但已夠應對RoHS檢測，用戶應根據自己的能力來選購國產或進口的。國產的XR-306能量色散X射線熒光光譜儀也能滿足RoHS的檢測。
2．波長色散熒光光譜儀。
此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個數量級，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多，
 特別是進口的都在百萬元以上，所以沒有外國公司建議用。儀器操作和能量色散一樣，不需要專業人員。
國產BX-100R是波長色散熒光光譜儀。價格比進口的能量色散型的還便宜，使用壽命也比能量色散的長一倍（主要指探測器，能量型的一般為5年，波長型的一般為10年）。
波長型大優點是用在原材料廠上，其測定的數據準確，給生產廠以確信的合格材料。
缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產生不同誤差。

性能優勢:
下照式：可滿足各種形狀樣品的測試需求 
準直器和濾光片：多種準直器和濾光片的電動切換，滿足各種測試方式的應用 
移動平臺：精細的手動移動平臺，方便定位測試點 
高分辨率探測器：提高分析的準確性 
新一代高壓電源和X光管：性能穩定可靠，實現更高的測試效率，高達100W的功率實現更高的測試效率
技術指標:
元素分析范圍：硫（S）～鈾（U） 
檢出限：1ppm
分析含量：1ppm～99.99 
重復性：0.05（含量96以上） 
穩定性：0.05（含量96以上）

相比之前的傳統的ROHS檢測儀，雖然它們大多型號也能在原基礎升級為鹵素測試，但需在硬件和軟件上做較大的改動，且成本較高，目前市場上的能測ROHS和鹵素的儀器都是分體式設計，成本較高些，而天瑞的EDX1100在算法軟件上，將ROHS測試和鹵素測試一體化，兩者化二為一，等于是一個整體，在產品成本上大大得到了壓縮，也等于是直接讓利了客戶，相比之前分體式設計也能同時檢測ROHS和鹵素的機臺，EDX1100的一體化設計，成本至少降低了30，EDX1100也采用的是新一代的鈹窗X大功率光管，壽命提高了5000小時，在應用上屬于通用于ROHS檢測儀器，廣泛應用于塑膠，五金，電子電器，化工等生產和制造領域環保臨測。
技術參數
測量元素范圍 ：硫（S）～鈾（U）測量時間：200S
檢出限：分析檢出限可達2ppm，薄可測試0.005μm含量范圍：1ppm～99.9穩定性：0.01管壓：5～50KV管流：≤1000uA探測器：SDD探測器，分辨率可達125eV準直器：6種準直器自動切換濾光片：5種濾光片自由切換樣品觀察：高清工業攝像頭環境濕度：≤70環境溫度：15℃～30℃電源：交流220V±5V（建議配置交流凈化穩壓電源）

技術指標:
元素分析范圍：硫（S）～鈾（U） 
分析含量：0.1ppm～99.9
重復性：0.1
穩定性：0.1
環境溫度：15℃～30℃ 
電源：交流220V±5V（建議配置交流凈化穩壓電源）
儀器配置:
超銳X光源和樣品激發機構 
上蓋電動開關的大容量樣品腔 
可自動切換的準直器，濾光片 
高清晰CCD攝像頭 
Si-PIN探測器 
信號檢測電子電路 
高低壓電源 
計算機及噴墨打印機 
專業X熒光分析軟件
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