X射線熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長色散為主。

1． 能量色散熒光光譜儀

能量色散型儀器較大的優點是不破壞被測的材料或產品，也不需要專業人員操作，缺點是對鉻和溴是總量測定（一般不影響使用，因為很多情況可以判定，如測鉻總量超標，常可知是不是六價鉻超標，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標就不合格）。

進口或國產的各種能量色散熒光光譜儀技術水平雖有差別，但已夠應對RoHS檢測，用戶應根據自己的能力來選購國產或進口的。國產的XR-306能量色散X射線熒光光譜儀也能滿足RoHS的檢測。

2．波長色散熒光光譜儀。

此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個數量級，也就是說，所測的數據并不存在“灰色地域”，不存在測定后還需拿到檢測機構復檢。但儀器的價格比能量色散的貴很多， 特別是進口的都在百萬元以上，所以沒有外國公司建議用。儀器操作和能量色散一樣，不需要專業人員。

國產BX-100R是波長色散熒光光譜儀。價格比進口的能量色散型的還便宜，使用壽命也比能量色散的長一倍（主要指探測器，能量型的一般為5年，波長型的一般為10年）。

波長型較大優點是用在原材料廠上，其測定的數據準確，給生產廠以確信的合格材料。

缺點是，波長法需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確。所以，用在材料廠較適合。如不制成樣本（非破壞），會因材料表面形狀不同而產生不同誤差。