涂層膜厚測試儀原理

　　涂層膜厚測試儀被廣泛應用于測量從0.1到50微米各種薄膜材料的厚度。無論單層或多層薄膜，簡單的球磨測試都能快速準確的測定每一層薄膜的厚度。典型的試樣包括CVD、 PVD、等離子噴射涂層、陽極氧化薄膜、離子濺射薄膜、化學和電鍍沉積鍍膜、高分子薄膜、涂料、釉漆等等。

　　原理：一個半徑精確已知的磨球由自身重力作用于鍍膜試樣表面并進行自轉。在測試過程中，磨球與試樣的相對位置以及施加于試樣的壓力保持恒定。磨球與試樣間的相對運動以及金剛石顆粒研磨液的共同作用將試樣表面磨損出一球冠形凹坑。 隨后的金相顯微鏡觀測可以獲得磨損坑內涂層和基體部分投影面積的幾何參數。在得知了X和Y的長度后，涂層的厚度D可以通過簡單的幾何公式計算得出。

膜厚儀的使用

測定準備

（1）確保電池正負極方向正確無誤后設定。

（2）探頭的選擇和設定：在探頭上有電磁式和渦電流式2種類型。對準測定對象，在本體上進行設定。

測定方法

（1）探頭的選擇和安裝方法：確認電源處于OFF狀態，與測定對象的質地材質接觸

（2）調整：確認測定對象已經被調整。未調整時要進行調整。

（3）測定：在探頭的末端加一定的負荷，即使用[一點接觸定壓式]。抓住與測定部接近的部分，迅速在與測定面成垂直的角度按下。下述的測定，每次都要從探頭的前端測定面開始離開10mm以上。使用管狀的東西連續測定平面時，如果采用探頭適配器，可以更加穩定地進行測定。